证券之星音讯,依据企查查多个方面数据显现上海新阳(300236)新取得一项发明专利授权,专利名为“晶圆搬运设备”,专利申请号为CN3.5,授权日为2024年1月12日。
专利摘要:本发明揭露了一种晶圆搬运设备,其包含支撑台、托盘、榜首机械臂和第二机械臂;所述支撑台设置有通孔,所述支撑台可升降地设置;所述托盘固定设置于所述支撑台下方,所述支撑台升降降进程中使所述托盘自所述通孔穿过;所述榜首机械臂与所述第二机械臂可彼此接近及远离地设置,用于一起夹持晶圆;所述榜首机械臂与所述第二机械臂设置于所述支撑台上方;所述榜首机械臂与所述第二机械臂可升降并可水平移动地设置。本发明运用托盘固定、支撑台的升降取放晶圆,自动化程度高,可替代人工搬运晶圆,劳动强度小且效率高,可习惯大规模出产的需求。本发明运用导向设备,可确保各部件的运转安稳,避免损坏晶圆。
今年以来上海新阳新取得专利授权3个。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研制方面投入了6400.07万元,同比增22.69%。
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